长治高新区深紫外LED量产型MOCVD装备研发项目上榜

记者 曹云报道：近日，2022年度山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目中榜名单公布，长治高新区深紫外LED量产型金属有机化合物气相沉积（MOCVD）装备研发项目在列。这是长治高新区深入实施创新驱动发展战略，积极开展前瞻性、引领性科学技术研究和关键共性技术攻关取得的又一重要成果。

MOCVD作为LED最核心环节的外延片生长关键设备，制造工艺复杂，技术含量高，是制造环节中单项投资最大的设备。长治高新区深紫外LED量产型MOCVD装备研发项目从我国第三代半导体材料和光电子器件的重大需求出发，致力于针对 MOCVD研制提出切实可行并具有自主知识产权的技术途径，大幅度提高器件性能、降低器件生产成本，推动深紫外光源全面进入空气消杀、水净化、表面消杀等应用市场，带动公共卫生安全和家庭健康应用等巨量市场加速发展。据了解，项目实施后，将填补专用于深紫外LED量产型MOCVD装备（一次生长20片以上2英寸外延片）的世界空白，为第三代半导体外延材料发展提供基础配套，促进国内光电产业上游行业衬底技术的发展，有效支撑和延伸我省第三代半导体产业链，为全市经济高质量发展注入活力。同时，通过项目成果的转化应用，可以集聚行业尖端人才，凝聚一支具有国际水平的研发队伍，为国家安全和促进相关高技术产业的发展作出贡献。

山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目是山西省科技计划体系中层次最高的科技项目，通过广泛征集高校、科研院所、科技型企业等国内外各类创新主体开展产学研合作揭榜攻关，重点解决面向世界科技前沿、面向全省经济主战场、面向人民生命健康的重大科学问题和“卡脖子”技术、重大科技成果转化应用问题。去年11月，2022年度山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目公布，长治高新区深紫外LED量产型MOCVD装备研发项目榜上有名。此次揭榜该项目的单位是中科院半导体研究所和长治学院，他们在自主研制设备和外延工艺开发上都具有丰富经验，将为项目的顺利实施提供保证。